设备名称
精密离子减薄仪
生产厂家
美国Gatan公司
设备型号
691
收费标准
60元/h
设备简介
主要用于陶瓷、半导体、金属等材料的透射电子显微镜(TEM)样品的最终减薄。
技术参数
极限待机真空度：3×10-5Pa；
轰击电压：0-6keV；
离子枪转角：0~±100；
样品台转速：1~6 rpm /min；
试样厚度d< 30μm
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