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场发射扫描电子显微镜

发布日期:2021-03-15    作者:     来源:     点击:[]

设备名称

场发射扫描电子显微镜

生产厂家

日本日立公司

设备型号

S-4800

收费标准

400/h

设备简介

H-800型透射电子显微镜具有较高的分辨本领,能提供材料细微的组织结构信息;运用选区电子衍射,可同时获得与微观形貌相对应的晶体学特征。主要应用于金属及非金属等材料的微观组织与结构分析。还有SEMSTEM观察。

技术参数

0nm15kV

二次电子分辨率         2.0nm1kV

1.4nm1kV,减速模式)

电子枪 冷场发射电子源

加速电压               0.5~30kV0.1kV/步,可变)

放大倍率 ´20~´800,000

物镜光阑               4孔,(内置加热器)

检测器 二次电子检测器(高位/低位),法拉第杯

样品台 X:0~110mm  Y:0~110mm  Z:1.5~40mm  T:-5~+70 º

R:360º       驱动:5轴马达驱动

图像储存               640´4801280´9602560´19205120´3840

图像编辑 内置图像处理软件和图像编辑软件

图像文件格式           BMPTIFFJPEG

扫描速度               TV/慢速(0.5~40s/帧)用于观察

慢速(40~320s/帧)用于记录

自动数据记录 加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离

电子图像移动           ±12µmW.D. = 8mm

真空系统 自动调节 离子泵3

涡轮分子泵(磁悬浮)1 机械泵1

随机附件

附件名称

能谱仪(EDSEMAX

生产厂家

日本掘场(HORIBA)公司

附件型号

7593-H

分辨率:133eV

分辨元素:B-U

分辨精度:1%

功能:成份点分析、线扫描、面扫描、定量面扫描