扫描电镜的操作基本可以分为以下几个步骤:
(1)样品制备;
(2)安放样品,抽真空;
(3)选择合适的加速电压、束流,信号源等参数对样品进行观察;
(4)聚焦,消像散,调节对比度亮度,选择需要的放大倍数,进行拍照,存储数据;
(5)关高压,退出样品。