IXRF VC-100真空镀膜机各部件名称示意图
操作步骤：
1.连接电源，开启电源开关；
2.放置待蒸镀的样品，使样品最高点位置处于50-70mm的刻度线之间；
3.在顶盖的两铜片之间夹持一根碳芯，档位旋转至BAKE位置，按住HEAT加热碳芯，碳芯受热冒烟，待挥发性物质挥发干净，至无烟冒出；
4.合上顶盖，挡住铜板，按EVAC抽真空，待真空度低于5Pa后，将档位旋转至OUT GAS位置，按住HEAT加热碳芯，真空下降，使挥发性物质散出，直至真空度不再降低；
5.待真空度达到低于2Pa后，档位旋转至EVAPO位置，移开遮挡铜板，按住HEAT加热碳芯，使碳沉积在样品表面，沉积时间根据需要进行调节。
注意事项：
1.必须合上顶盖之后再按EVAC抽真空，否则易造成真空泵损坏；
2.在BAKE位置加热蒸镀材料时需移开铜板，否则易污染铜板；
3.不可直视加热的蒸镀材料，应佩戴护目镜；以避免强光刺激眼睛；
4.待蒸镀样品表面应平整，否则易造成镀膜蒸镀不上或者厚度不均匀；
5.样品应干燥，无挥发性不易分解，耐热性好；
6.避免玻璃罩磕碰，轻拿轻放，操作时需佩戴手套
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