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实验二 纳米压痕方法测定薄膜硬度

    1.开机,调零,系统初始化,仪器预热30min。

    2.放入样品,寻找光学视场,即确定Z轴安全极限。“Video”

    3.设立X,Y轴安全范围,即操作安全区域,然后压头快速逼近。“Safety limits”

    4.扫描图像,寻找合适的操作点。通过调整扫描速率,扣除背底以及图像颜色控制等调整图像质量。“Imagine”

    5.确定加载载荷,加载点,在样品上进行压痕试验。

    6.根据试验结果分析样品的弹性模量,硬度等值,分析样品的表面形貌等。

    7.退出系统。