实验指导书

薄膜的结构与块状材料不同，它合有较多的缺陷，并且处于介稳状态的可能性较大。若薄膜是晶体结构时，它的晶粒较小、晶界较多，且易于择优取向。薄膜的结构明显地依从于基片和制造工艺。随着厚度的减小，薄膜逐渐从连续结构转变为不连续结构。通常，它的表面积远大于它的几何面积。由于薄膜的结构显著地区别于块体材料，所以它的性能与块体材料不同，而且具有一些独特的性能。因此它有着许多地、广泛地应用前景。而且随着是未来不可缺少的一种材料。

铁氧体薄膜以其优异的高频电磁特性，良好的机械耐磨性和稳定的化学性能而成为颇具应用价值的材料引起人们的关注。未来的电子元器件进一步朝着小型化，集成化方向发展，部分器件将由三维的体材料向二维的薄膜材料方向发展：微波及毫米波器件，如环行器，隔离器等；磁化效应器件；高密度、大容量的薄膜磁记录介质；薄膜型磁头，磁传感器，薄膜变压器以及薄膜电感器等。此外，生物磁学在生物医学工程的发展中起着重要的作用，为寻找与其生物体相适应的、化学稳定性较好的磁性物质作为各种载体或药物、探测试剂等，都需要膜厚均匀，无缺陷，具有合适电磁性能的铁氧体薄膜。